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　　為了減少鈦管靶中的氣孔，加強(qiáng)濺射薄膜的性能，通常要求靶材具有較高的密度。靶的密度不但影響濺射速率，而且影響薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶密度越高，薄膜性能越好。另外，加強(qiáng)靶材的密度和強(qiáng)度可以使靶材可以承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是目標(biāo)的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。
　　通常目標(biāo)材料是多晶結(jié)構(gòu)，晶粒尺寸可以從微米到毫米。對(duì)于鈦管靶，小晶粒靶材的濺射速率比大晶粒靶材快，而小晶粒差靶材（均勻分布）沉積的薄膜厚度分布比較均勻。